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新款中走絲-大而薄的極板-仁光智能

欄目:中走絲線切割資訊 發(fā)布時間:2020-10-22 作者: 仁光智能小陳 來源: 網(wǎng)絡(luò) 瀏覽量: 1369
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新款中走絲,這4個設(shè)計參數(shù)之間不是彼此孤立的,而是相互聯(lián)系相互影響。單純利用改進(jìn)傳感器結(jié)構(gòu)來提高小量程傳感器的輸出電容是有限的。如果電路靈敏度不高,則小電容信號很有可能湮沒在噪聲信號中

新款中走絲,4個設(shè)計參數(shù)之間不是彼此孤立的,而是相互聯(lián)系相互影響。單純利用改進(jìn)傳感器結(jié)構(gòu)來提高小量程傳感器的輸出電容是有限的。如果電路靈敏度不高,則小電容信號很有可能湮沒在噪聲信號中。因此,對測量電路的優(yōu)化也是實現(xiàn)MEMS電容式傳感器小量程測壓必不可少的一步。

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新款中走絲,大而薄的極板不僅使傳感器的初始電容C0增大,而且使可動極板在受到相同壓力時產(chǎn)生更大的形變,從而使傳感器的電容輸出值增大。但又大又薄的極板會導(dǎo)致器件的線性性能惡化,同時與MEMS微型化的設(shè)計理念相違背。而且,太薄的極板太脆易碎。

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新款中走絲極板間距的減小也可以顯著提高C0。但當(dāng)極板間距很小時,傳感器的動態(tài)范圍不僅過窄,而且空腔內(nèi)任何微量氣體的存在都會影響傳感器性能,因此傳感器空腔的真空度必須非常高。

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