自動中走絲,電容式壓力傳感器是基于變間隙式平行板電容器工作的。當(dāng)可動極板受壓力作用時,會發(fā)生一定的變形,因此上下電極之間的距離發(fā)生變化,從而它們之間的電容也發(fā)生了變化。
然而,壓力與電容之間的關(guān)系是非線性的。為了消除非線性,設(shè)計者會根據(jù)小撓度薄板理論設(shè)計電容式傳感器的可動極板,使之在一定的壓力范圍內(nèi)非線性減小甚至呈線性變化。
自動中走絲,除此之外,也可以采用具有補償功能的測量電路對輸出電容進行非線性補償。在小量程壓力范圍內(nèi),傳感器的測量對象是絕對壓力。初始電容C0和Δγ(γ為可動極板形變量與初始極板間距的比值)是影響電容式傳感器靈敏度的關(guān)鍵因素。
自動中走絲,為了得到較大的電容輸出和較高的靈敏度,極板作用面積應(yīng)該盡量大,極板間的間距要盡量小,可動極板受力產(chǎn)生的形變也應(yīng)該盡量大,同時采用介電常數(shù)大的材料做介電層。