錐度中走絲，傳感器的靈敏度可以通過增加可動極板的面積和減小極板間距來增加，動態(tài)范圍可以通過減小力敏薄膜的面積來提高。增加壓敏薄膜的另外一個好處是可動極板無需暴露在外界環(huán)境中來獲取壓力變化，電容結(jié)構(gòu)可以完全密閉封裝并且與力敏薄膜電隔離。

錐度中走絲，工藝方面，也是采用淀積多晶硅來形成力敏薄膜(厚度在1.0～1.5 μm之間）和平行板電容式器極板（厚度在2～3.5 μm之間），淀積氧化層作為犧牲層形成空腔。傳感器的靈敏度很高，在小于1 000 Pa的范圍內(nèi)靈敏度仍有10 aF/Pa。

錐度中走絲，電容測量電路優(yōu)化，隨著測試技術(shù)的發(fā)展，國內(nèi)外的科研工作者在微小電容測量電路的設(shè)計方面已經(jīng)取得了很大進步，提出了許多新的測量方法及電路結(jié)構(gòu)，應(yīng)用于不同的微小電容讀取場合。但大部分測量方法的電路精度和集成化程度比較低，還不能很好地達到在實際應(yīng)用方面的要求。