高端中走絲,如Vaisala公司的BAROCAP系列產(chǎn)品是單晶硅基電容式壓力傳感器,能夠測量500~1 100 hPa(50~110 kPa)范圍內(nèi)的絕對(duì)大氣壓力,在工業(yè)應(yīng)用測量范圍甚至可以更小,低至50 hPa(5 kPa)。
高端中走絲,BAROCAP傳感器的技術(shù)已經(jīng)很成熟,產(chǎn)品擁有較低的遲滯性、優(yōu)異的測量精度和長期工作穩(wěn)定性,在各行各業(yè)都得到了廣泛應(yīng)用,而且還能與其他類型傳感器集于一體,達(dá)到壓力、濕度、溫度的同時(shí)測量。
高端中走絲,自1989年開始,日本富士電機(jī)公司已經(jīng)將硅電容式壓力傳感器商品化,其中的FCX-AIII系列絕對(duì)壓力變送器最小的測量范圍僅為0~16 kPa。與國外相比,我國的研究基本處于空白狀態(tài),只能依賴于進(jìn)口產(chǎn)品。
高端中走絲,針對(duì)MEMS電容式壓力傳感器在小量程壓力測量時(shí)存在的問題與挑戰(zhàn),各國都在尋找有效可行的解決辦法,努力提升傳感器的性能以期實(shí)現(xiàn)更靈敏、更準(zhǔn)確的小量程壓力測量。